固體鏡面分析

鏡面反射率測定適合量測表面光滑，反射面呈亮面的固體樣品。測量時須先使用標準樣品 (一般為鋁鏡) 進行基線校正 (將鋁鏡的光反射強度定義為100 %R，如下圖(a))；再測量待測樣品的反射強度 (如下圖)，經以下運算：

反射率 (%R) = (待測樣品的反射光強度) / (標準樣品的反射光強度)

將各波長的反射率數值串聯起來，即形成X軸為波長、Y軸為反射率的反射光譜圖。

當待測樣品的反射率高於鋁鏡 (例如：鍍高反射膜的wafer)，測得的相對反射率可能>100 %R。此時使用絕對反射測定套件是較好的選擇。

一般而言，鏡面反射率的大小與光的入射角 (Angle of Incidence, AOI, 一般以θ表示) 以及光的偏光特性有很大的關係。當入射角>12度時，S偏光 (藍色) 與P偏光 (橘色) 的反射率數值差異愈大 (如下圖)。而光譜儀內的光學元件如：繞射光柵 (grating)、反射鏡面等因為材質的雙折射特性 (birefringence) 讓入射光會產生部分極化的現象。因此，測量入射角>12度的鏡面反射率時，必須使用去偏光鏡 (depolarizer) 或利用偏光鏡分別量測S、P偏光再取平均的方式，才能避免因為不同光譜儀間不同的偏光特性造成的反射率誤差。

實例：S偏光 (藍色)、P偏光 (橘色) 在不同入射角 (X軸) 與反射率 (Y軸) 的關係圖， P偏光反射率為0的角度即為布魯斯特角 (Brewster Angle)。