SolidSpec-3700i/3700iDUV - 特色
SolidSpec-3700i/3700i DUV 紫外/可見光-近紅外光分光光譜儀 (UV-Vis-NIR)
高靈敏度
偵測器與可量測範圍之間的關係
光電倍增管偵測器可與 InGaAs 偵測器切換的範圍從 700 nm 至 1,000 nm (預設切換波長為 870 nm)。InGaAs 偵測器可與PbS偵測器切換的範圍從 1,600 nm 至 1,800 nm 的 PbS 偵測器 (預設切換波長為 1,650 nm)。
光學零件的量測，需要高度準確的透射率和反射率。SolidSpec-3700i/3700i DUV 具有三個檢測器，包含從紫外到近紅外光的範圍。近紅外光範圍的靈敏度，可透過同時使用 InGaAs 及冷卻的 PbS 偵測器而顯著增強。從紫外光到近紅外光範圍內，都可取得高度準確且高度靈敏的光譜。光學零件的量測，需要高度準確的透射率和反射率。SolidSpec-3700i/3700i DUV 同時具有三個檢測器，因此可以滿足上述光學零件量測準確的需求。
傳統的分光光譜儀在紫外光和可見光範圍內使用光電倍增管 (PMT)，並在近紅外光區域使用 PbS 偵測器。不過這兩種偵測器在偵測器轉換範圍附近的靈敏度都不高 (波長 800 至 1,400 nm 間)，導致在這個範圍無法取得高度準確的量測。SolidSpec-3700i/3700i DUV 可透過如左圖所示使用 InGaAs 偵測器，在轉換範圍內進行高靈敏度量測。
寬廣的量測波長範圍 (SolidSpec-3700i DUV)
使用 ArF 準分子雷射等紫外光雷射進行精準雷射切削的發展，增進對於深紫外光區域中的光學零件之透射率或反射率量測的要求。SolidSpec-3700i DUV (註 1) 透過安裝選配的直接偵測裝置 DUV，在 165 nm 至 3,300 nm 的範圍內 (註 2) 可直接測樣，亦可使用積分球量測 175 nm 至 2,600 nm 的範圍 (註 3)。透過這個額外裝置，現在可量測從深紫外光到近紅外光的寬廣範圍。
大氣中的氧氣分子會吸收 190 nm 以下的紫外光。必須以氮氣 purge 光學及樣品腔室，以去除產生干擾的氧氣分子。由於 SolidSpec-3700i DUV 的每個腔室都有 purge 孔，可進行有效率的氮氣purge，縮短樣品更換後 purge 所需的時間，並在深 UV 區域中以較少漫射光達到高靈敏度。
需要使用不會吸收深紫外光的材質，做為偵測器窗口材質以及積分球內側的材質，以達成在深紫外光區域內的效能。SolidSpec-3700i DUV 的PMT偵測窗口, 使用以熔融矽石做為窗口材質，以及積分球使用在深紫外光區域內具有高度反射特性之樹脂做為內部材質。
註 1) 為了以 SolidSpec-3700i DUV 量測 190 nm 以下範圍，必須以氮氣purge去除 SolidSpec-3700i DUV 內部的氧氣分子干擾。
註 2) SolidSpec-3700i 搭配選配之直接偵測裝置的可量測範圍是 190 nm 至 3,300 nm。
註 3) SolidSpec-3700i 的可量測範圍是 240 nm 至 2,600 nm。
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大樣品室可容納多種樣品。
SolidSpec-3700i 和 3700i DUV 具有大樣品室，不需要破壞樣品就可量測大樣品。其內部尺寸為 900W × 700D × 350H mm。可將最大 700W × 560D × 40H mm 的樣品置於樣品室內，而透過安裝自動 X-Y 平台 (選配)，可量測 12 英吋或 310 × 310 mm 的完整樣品面積。垂直光徑可進行大樣品的透射率或反射量測。
大樣品室
可將 700W × 560D mm 置於樣品室內。
三維光徑
三維光徑可對大樣品進行非破壞性量測，不需要將樣品切小。在先前型號的光徑中，光線只會水平行進，但新的型號包含一個三維光徑 (美國專利字號 6583872)，光線也可以在垂直方向行進。樣品可水平放置，如此較容易放置大樣品。
已為 SolidSpec-3700i/3700i DUV 打造多種配件，例如絕對鏡面反射附件和相對鏡面反射附件；擴展其應用領域。透過輸入樣品間隔及旋轉角度，可利用選配的自動 X-Y 平台進行自動量測。
自動量測
自動 X-Y 平台 (選配)
針對 SolidSpec-3700i/3700i DUV 開發的自動 X-Y 平台，可為預先指定的點進行自動量測，同時維持氮氣 purge。
不使用積分球直接量測液體樣品和固體樣品
直接偵測裝置 (選配)
SolidSpec-3700i/3700i DUV 的標準偵測系統是使用積分球量測樣品。不過某些樣品需要在不使用積分球情況下量測。直接量測裝置是針對此類情況打造的。透過將直接量測裝置 (DDU-DUV) 安裝在 SolidSpec-3700i DUV 內，可進行低達 165 nm (註) 的量測。透過切換一個鏡子就可以直接量測裝置進行量測。
註) 為了以 SolidSpec-3700i DUV 量測 190 nm 以下，必須以氮氣 purge 去除 SolidSpec-3700i DUV 內側干擾的氧氣分子。SolidSpec-3700i 搭配選配直接量測裝置的可量測範圍是 190 nm 至 3,300 nm。