AXIS Supra⁺ - 特色

 The AXIS Supra⁺ 在光譜分析和 XPS 造影模式中提供優異的靈敏度。如同任何形式的光譜技術，靈敏度對於在盡短時間內收集資料很重要。對 X 光暴露敏感的材質，短擷取時間更有利。AXIS Supra⁺ 的高靈敏度也確保可從低濃度檢體和低光電截面的輕元素，更容易收集資料。

多用途的 ESCApe 軟體研發用於盡可能簡化光譜儀的使用者互動，整合擷取和處理以完全發揮硬體的自動化。範例之一是 ESCApe 內的群組陣列分析能力。此功能可讓使用者在樣品上拖曳一個區域，並定義一個分析點陣列，從其中擷取光譜。自動化高峰識別和定量，可輕易產生樣品表面上識別元素的彩色地圖。

以 XPS 造影測量表面元素或化學的側向分佈。AXIS Supra⁺ 擷取快速、高空間解析度平行影像。平行影像擷取的優點是，相較於傳統光柵射束方法，顯著更快並可達成更高的空間解析度。平行造影也可以和平台移動結合，以擷取「接合」影像，能夠產生涵蓋數毫米且具有數微米空間解析度的影像。
平行造影提供的能力包括：

光譜分析和造影模式中的最佳解析度，是任何光譜儀的最重要基礎特性。 AXIS Supra⁺ 的光譜分析解析度優於其他儀器，可準確並重現測量用於決定表面化學的小化學位移。  
側向空間解析度對於能否識別和造影小表面特性很重要。使用 Kratos 專利球面鏡分析儀 (SMA)，可保證達到 1 um 的終極影像解析度。

AXIS Supra⁺ 的自動化可改進光譜儀的易用性，並可擴展光譜儀的所有層面。無縫自動化表示儀器可遠端操作進行資料擷取，以及提供應用程式和服務支援。最重要的能力是樣品進入和分析腔室之間的自動化樣品更換。最多 3 個樣品托架的無須看顧樣品更換，可確保連續操作和極高樣品通量。
自動化也擴展到在擷取常規操作期間交換激發光源。這可透過針對 XPS 特性描繪，使用標準 Al Kα 和選配 Ag Lα 單色 X 光源進行循序擷取來展示。氬離子濺鍍來源的氣體處理，或用於紫外光發射光譜分析 (UPS) 的 UV 燈，也完全自動化。

AXIS Supra⁺ 不只是光電子光譜儀。可配置完整的額外材質特性描繪技術，而不會降低 XPS 效能。  
XPS 分析腔室上可用的同時分析技術包括：