Kratos AXIS Nova - 特色
Imaging X-Ray Photoelectron Spectrometer
靈敏度
AXIS Nova 的設計可在大分析面積下提供極佳效能，可有效率收集光電子，同時在光譜分析和 XPS 造影模式下提供高靈敏度。高靈敏度確保可在短擷取時間內，以優異的訊噪比擷取光譜。這對於可能會因為 X 光暴露而受到破壞的材質特別重要。這也表示 AXIS Nova 能夠輕易偵測低濃度物種，以及傳統上難以偵測的輕元素。
- 能夠輕易偵測、測量和定量最低濃度。
- 光譜分析和造影模式下的短擷取時間。
解析度
光譜分析和造影模式中的最佳解析度，是任何光譜儀的最重要基礎特性。AXIS Nova 優異的光譜分析能量解析度，可準確並重現測量用於決定表面化學的小化學位移。
側向空間解析度對於能否識別和造影小表面特性很重要。使用 Kratos 專利球面鏡分析儀 (SMA)，可保證達到 1 um 的終極影像解析度。
- 大型 500 mm Rowland 環、X 光單色鏡，設計用於高能量解析度 XPS。
- 對於傳導性和絕緣性樣品，可保證達到傑出的光譜分析解析度。
簡單
AXIS Nova 使用 ESCApe，這是所有 Kratos 光電子光譜儀共同具備的擷取、處理和報告軟體。ESCApe 軟體是使用者與這款高效能儀器的介面，盡可能簡化與光譜儀的互動。包含整合擷取和自動化流程，以利用硬體提供的自動化。透過簡單的擷取工作流程確保容易使用。從光學顯微鏡識別分析位置後，可選擇預先定義的分析模式以開始樣品分析。這些方法可能很簡單，例如調查光譜，或者較為複雜，例如在蝕刻期間以維持關注區聚焦 (compucentric) 旋轉方式進行濺鍍深度剖繪。ESCApe 為專家使用者保留彈性，可定義自己的擷取方法。
- 預先定義的「漫遊使用」擷取方法。
- AXIS Nova 光譜儀的完整電腦控制，讓初學使用者可更輕易擷取。
- 整合擷取、資料處理和判讀軟體。
平行 XPS 造影
以 XPS 造影測量整個表面的元素或化學的分佈。AXIS Nova 擷取快速、高空間解析度平行影像。平行影像擷取的優點是，相較於傳統光柵射束方法，顯著更快並可達成更高的空間解析度。平行造影也可以和平台移動結合，以擷取「接合」影像，能夠產生涵蓋數毫米且具有數微米空間解析度的影像。
平行造影提供的能力包括：
- 在最高造影放大倍率下的 3 微米極致空間解析度。
- 高能量解析、化學狀態造影。
- 定量造影 – 獨特的球面鏡分析儀和延遲線偵測器，提供定量化學狀態影像。
- 光譜顯微鏡 – 從影像資料集擷取光譜，在每個像素層級提供光譜。
自動化
AXIS Nova 的自動化確保分析儀容易操作。自動化多平台交換，可在樣品進入腔室 (SEC) 和樣品分析腔室 (SAC) 的樣品存放昇降機之間轉移，不需要使用者介入。AXIS Nova 一次可在儀器內容納最多三個 110 mm 直徑樣品平台，確保高樣品通量分析。在 SEC 和 SAC 下均提供大檢視孔，表示隨時可觀察平台，讓人完全放心。無縫自動化也表示儀器可遠端操作進行資料擷取，以及提供應用程式和服務支援。
氬離子濺鍍來源的氣體處理，或用於紫外光發射光譜分析 (UPS) 的選配 UV 燈，也完全自動化。
其他能力
雖然 AXIS Nova 主要設計進行高通量、高效能 XPS，但可加入其他分析能力，而不會降低效能。可加入紫外光 He 放電燈，以收集共價鍵的紫外光光發射光譜 (UPS)，以及功函數測量。
可配置離子散射光譜分析 (ISS) 做為額外技術，描繪樣品最外層表面的元素特性。可配置 Minibeam 4 和 Minibeam 6 離子源，用於搭配低能量 He + 離子，並可直接透過 ESCApe 使用者介面反轉分析儀極性，以達成此擷取模式。
XPS 分析腔室上可用的同時分析技術包括 :
- 紫外光發射光譜分析 (UPS)
- 離子散射光譜分析 (ISS)
表面修飾能力包括：
- 空氣靈敏樣品處理；手套盒、惰性樣品運送裝置及修改過的樣品平台