SPM-Nanoa - 特色

調整雷射光束、觀察期間調整參數設定，並自動進行影像處理

使用標準樣品和標準懸臂時的操作時間：約 5 分鐘*
*以 1 μm 方形視野和 256 × 256 畫素解析度自動觀察。取決於操作人員，操作時間可能不同。

先前的 SPM 系統需要練習調整光束、觀察期間調整參數設定，以及處理影像資料，但 SPM-Nanoa 可自動化這些流程，協助確保無壓力的操作。

從光學至 SPM 顯微鏡的所有模式擷取銳利影像

可由光學顯微鏡搜尋目標，並由 SPM 協助放大觀察。
可在和表面形狀影像相同的視野，取得其他物理特性資訊。

樣品：SiO ₂ patterns on Si

多樣化的觀察模式

支援多樣化的觀察模式，從觀察形狀到依據力曲線測量測繪物理特性。
這表示可用高解析度評估物理特性。

輕鬆搜尋目標

可用不受振動影響的銳利光學顯微鏡影像輕易搜尋目標。
SPM-Nanoa 在單一整合系統中，結合高效能光學顯微鏡和 SPM 裝置。

檢視測試排列圖樣

透過整合的光學顯微鏡 (左)，可清楚觀察到樣品表面上的 3 μm 間隔週期結構。

以高解析度觀察局部物理特性

可用高解析度觀察局部的極軟樣品變形，或樣品機械或電氣特性差異。

雲母基質上的金奈米顆粒之 KPFM 模式觀察

這顯示以和 0.2 μm 形狀影像 (左) 相同視野擷取的表面電位影像 (右)。

8K 影像可對大面積進行高解析度觀察

即使在大面積影像中，也可以觀察詳細結構。可用最高 8K (8192 × 8192) 像素達成高解析度觀察。

氣相沉積金屬鍍膜的觀察

多項輔助功能可達成快速觀察

透過更快的觀察和物理特性測繪流程，顯著縮短觀察時間。
簡單的樣品和懸臂更換流程，可確保快速備妥系統進行觀察。

三項功能可以顯著縮短觀察時間。

高通量觀察快速物理特性測繪

簡單且順暢的樣品更換

輕鬆更換可靠的懸臂

高通量觀察
快速物理特性測繪

透過使用達成快速反應並最佳化控制演算法的高通量掃描儀，已顯著縮短觀察和測繪物理特性所需的資料擷取時間。

* 實際觀察時間將隨參數設定而異。

簡單且順暢的樣品更換

可透過按一下開啟/關閉平台，放置和移除樣品。由於系統維持雷射光束位置，更換後可立即觀察樣品。

E輕鬆更換可靠的懸臂 -Cantilever Master (配備選項)-

可透過直接將懸臂放在指定的位置，然後沿著導軌滑入以安裝懸臂。即使對於不習慣使用鑷子的操作人員，也可確保輕易並可靠更換懸臂。